离子束抛光机?FiSy IFS1500I
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名称 |
参数 |
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加工能力 (最大工件尺寸) |
最大尺寸1500mmx1500mm 最大厚度300mm |
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可加工面形 |
平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等 |
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可加工资料 |
石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等 |
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可加工精度 |
亚纳米加工精度、可实现面形RMS<1nm超高精度加工 |
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X轴行程 |
≥1600mm |
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Y轴行程 |
≥1600mm |
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Z轴行程 |
≥300mm |
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离子源 |
德国射坡冯子源 |
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中和器 |
德国 |
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工作真空成立功夫 |
≤1幼时 |
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副室真空成立功夫 |
≤15分钟 |
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；ぶ澳 |
具备意表断电、断水、断气等故障报警；ぁ⒒疃低彻收媳；ぁ⒗胱釉垂收媳；さ |
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智能职能 |
具备智能一键开机、一键；词痹ぴ技庸ぁ⒃冻探谠臁⑷罩镜戎澳 |
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表形尺寸 |
6.4m×3.8m×3.3m |
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整机沉量 |
16吨 |
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能耗功率 |
总功率35kW |
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无
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